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    Home>產品與應用>機器人>SEMISTAR-M、V系列 / MCL,MFL,MFS系列>MFS2200D

    MFS2200D

    實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運!

    大型液晶玻璃基板搬運機器人
    負載:50KG
    動態范圍:1780mm
    控制柜:DX100
    用途:搬運、潔凈室

    • 特點
    • 外形尺寸
    • 支持
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    適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
    高速、穩定搬運,提高生產效率。
    高度柔性動作,大幅度削減配套設備費用。
    長期保持高潔凈度,降低運營成本。
    大幅縮短生產線建立時間。


    項目 規格
    名稱 MOTOMAN-MFS2200D-3600
    機型 YR-MFS050D-A00
    構造 水平多關節形(6個自由度)
    負載 50kg/手臂
    重復定位精度*1 ±0.2mm
    動作范圍 U軸(上下軸) 3600mm
    S軸(回轉軸) -180.5°~+180.5°
    L,R軸(前后軸) -1780mm~+1780mm
    左右運作 -50mm~+50mm
    扭動運作 -6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
    -0.5°~+0.5°(以上范圍以外)
    最大速度 U軸(上下軸) 950mm/s
    S軸(回轉軸) 1.57rad/s,90°/s
    L,R軸(前后軸) 最大3600mm/s
    容許力矩 L,R軸(前后軸) 353N·m
    容許慣性力矩(CD2/4) L,R軸(前后軸) 71kg·m2
    標準噴涂色 孟塞爾munsell N9.5
    本體質量 2430kg
    潔凈度*2 ISO4
    安置環境 溫度 15~25°C
    濕度 20~80%RH(不結露)
    振動 4.9m/s2以下
    其他 ·環境沒有引火性及腐蝕性氣體,液體
    ·遠離水
    ·遠離電子噪音源
    ·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下
    電源容量*3 12.0kVA

    *1:依據JIS B8432標準
    *2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。
    *3:根據用途、作業形式會有所不同。

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