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    Home>產品與應用>機器人>SEMISTAR-M、V系列 / MCL,MFL,MFS系列>SEMISTAR-MR124

    SEMISTAR-MR124

    適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

    半導體晶片搬運用機器人
    負載:-
    動態范圍:1215mm
    控制柜:SR100
    用途:搬運、半導體

    • 特點
    • 外形尺寸
    • 支持
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    大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
    高速搬運:300枚/小時
    適用:300mm-450mm晶片搬運


    項目 規格
    機械臂 適用晶體尺寸 300mm(450m)*1
    晶體把持方式 真空吸附夾具或邊緣夾具
    標準邊緣效應器長*2 對應345mm@300mm的晶體
    驅動軸數 5軸
    手臂類型 單臂
    動作范圍 R軸伸縮*3 1215mm
    θ軸回旋 330°
    Z軸升降 480mm
    B軸回轉 440°
    最小回轉半徑*2 510mm
    最快速度*2 伸縮 260°/s
    回旋 330°/s
    升降 550mm/s
    B軸回轉 350°/s
    線性 2000mm/s
    重復定位精度*2 0.1mm(P-P)
    質量 66kg
    位置調整器 適用晶體尺寸 300mm
    晶體把持方式 真空吸附夾具
    檢出對象 凹槽
    晶體材質 珪素*4
    晶體邊緣檢出傳感器 LED + CCD線性傳感器
    動作范圍 回旋 無限制
    最快速度(加速/減速時間) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
    LINEMENT精度 ±0.03°
    LINEMENT時間 1.7秒以下
    質量 5.8kg
    設置環境 潔凈等級*5 ISO等級1
    使用溫度·濕度 20~30℃,35~55%RH(不結露)
    保管溫度·濕度 0~40℃,35~80%RH(不結露)
    標高 表高1000m以下
    環境 無爆炸性,腐蝕性,可燃性氣體
    MCBF 1500次循環以上

    *1:本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
    *2:300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
    *3:機械臂回旋中心位置~晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
    *4:根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應(有業績)。但是根據石英規格,本公司需要進行評價和調整。
    *5:在0.3m/s的流量下,機械臂進行真空吸附

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